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徠卡體視顯微鏡的徠卡顯微系統(tǒng)是全球顯微科技與分析科學(xué)儀器之專業(yè)廠商,總部位于德國維茲拉(Wetzlar, Germany),隸屬全球科學(xué)與技術(shù)的創(chuàng)新者丹納赫集團。
晶圓檢測系統(tǒng)結(jié)合了德國Leica公司的光學(xué)顯微鏡,解決了半導(dǎo)體客戶對8英寸及以下尺寸晶圓、第1/2/3代半導(dǎo)體材料晶圓傳送和光學(xué)檢測需求。該系統(tǒng)可以兼容第一~第三代材料,不透明材質(zhì)\\半透明\\全透明材質(zhì)的晶圓。該系統(tǒng)可以升級成為全自動檢測系統(tǒng)(可以選配AOI/AI智能檢測軟件),可以針對特殊工藝晶圓、特殊標記Mark、雙平邊晶圓等進行相應(yīng)的擴展或者改造,可以選配SMIF系統(tǒng)、SECS/GEM。
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